剩下的就是如何将这些晶T管连接起来的问题了。

        同样是先形成一层铜层,然後光刻掩模、蚀刻开孔等JiNg细C作,再沉积下一层铜层。

        这样的工序反覆进行多次,这要视乎芯片的晶T管规模、复制程度而定。

        最终形成极其复杂的多层连接电路网络。

        由於现在IC包含各种JiNg细化的元件以及庞大的互联电路,结构非常复杂,实际电路层数已经高达30层,表面各种凹凸不平越来越多,高低差异很大,因此开发出CMP化学机械抛光技术。

        每完成一层电路就进行CMP磨平。

        另外为了顺利完成多层Cu立T化布线,开发出大马士革法新的布线方式,镀上阻挡金属层後,整T溅镀Cu膜,再利用CMP将布线之外的Cu和阻挡金属层去除乾净,形成所需布线。

        芯片电路到此已经基本完成,其中经历几百道不同工艺加工,而且全部都是基於JiNg细化C作,任何一个地方出错都会导致整片硅片报废,在100多平方毫米的硅片上制造出数十亿个晶T管,是人类有文明以来的所有智慧的结晶。

        而弄得这麽复杂,几百道工序下来,不过是为了在硅片上面,雕刻纹路,注入导电杂质,形成开关。

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